Magas hőmérsékletű vákuum alkatrészek
A hőkezelés főként oxidációs, diffúziós és izzítási folyamatokat foglal magában.Az oxidáció egy additív eljárás, amelyben a szilícium lapkákat magas hőmérsékletű kemencébe helyezik, és oxigént adnak hozzá, hogy reagáljanak velük, és szilícium-dioxid keletkezzen az ostya felületén.A diffúzió célja az anyagok mozgatása a nagy koncentrációjú területről az alacsony koncentrációjú tartományba molekuláris hőmozgással, és a diffúziós folyamat felhasználható specifikus adalékanyagok adalékolására a szilícium szubsztrátumban, ezáltal megváltoztatva a félvezetők vezetőképességét.